图形晶圆缺陷检测设备(AMMI-2000)，用于半导体制造的前道检测，对图形晶圆的宏观缺陷，如划痕颗粒脏污、腐蚀、图形结构缺陷等进行检测，对集成电路芯片的性能和可靠性保证有重要作用。AMMI-2000集成明场、暗场等多种检测模式，对图形晶圆各类缺陷提供可靠的缺陷信息，结合缺陷自动检测与分类算法，提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各项缺陷数据，生成晶圆缺陷检测报告供用户进行质量评估和判定。