玻璃晶圆缺陷检测设备(NOVA-2000-G)，是用于透明或半透明玻璃晶圆衬底的缺陷检测设备，可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷，对透明晶圆的质量控制具有重要作用。玻璃晶圆缺陷检测设备集成明场、暗场等多种检测模式，对各类缺陷提供可靠的缺陷信息，结合缺陷自动检测与分类算法，提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各项缺陷数据，生成晶圆缺陷检测报告供用户进行质量评估和判定。