埃科线光谱共焦传感器系列，基于同轴式光谱共聚焦技术开发而成，提供高达30KHz扫描速度、最大测量视野10.2mm，X方向分辨率可达1.9um，Z方向重复精度可达50nm，具有高精度、高速度、多功能、无接触在线检测等优势，为半导体、消费电子和动力电池等精密制造行业提供卓越检测方案。