碳化硅缺陷检测设备(NOVA-2000)，用于SiC抛光衬底片和同质外延片的缺陷检测，针对SiC缺陷的多样性设计专用多通道光学检测系统和缺陷自动检测分类算法，对微管、层错、三角形缺陷、台阶聚集等名类缺陷进行检出和提取分类，对SiC质量控制和工艺提升有显著作用。